Hiromasa Ohmi 研究室

主宰者：Hiromasa Ohmi
大阪大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

本研究室は、プラズマを利用した薄膜形成・加工プロセスの開発を行っています。特に、常圧または高圧のプラズマを電子デバイスの製造に応用することで、従来の真空装置を必要としない新しい加工技術の実現を目指しています。扱う材料はシリコン、酸化物、窒化物など多岐にわたり、反射防止膜や電池電極、光学デバイスなど多くの応用分野に対応しています。 主な研究の問いは、プラズマ中の化学反応を制御することで、目的とする薄膜をいかに効率的かつ高品質に製造するかです。多くの研究で、ガスの種類・流量やプラズマの圧力・温度、入力電力などの条件を系統的に変化させ、その影響を調べています。同時に、赤外分光やプラズマ診断などの分析手法で、プラズマ内の反応メカニズムを詳しく解明する手法も活用しています。 得られた主要な成果として、高い堆積速度や加工速度を実現する条件の同定、プラズマ中の自由基などの反応種がどのように膜形成に寄与するかの理解、ならびに計算シミュレーションによるプロセス予測があります。これらの知見により、安全で簡便なプラズマプロセスが可能になると期待されています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

外部リンク

関連研究室(8 件)

研究成果（27 件）

続きを表示（残り 17 件）

科研費（0 件）

まだデータがありません（KAKEN 取り込み後に表示）。

所属学会・役職（0 件）

まだデータがありません（学会データ連携後に表示）。