Satoru Yoshimura 研究室
主宰者：Satoru Yoshimura
大阪大学
AI 要約（直近 5 年の研究成果）
本研究室では、低エネルギーのイオンビームを用いた薄膜形成技術の開発を行っています。気体や有機化学物質を原料として基板に吹き付けると同時に、数十～百数十電子ボルトのエネルギーを持つイオンを照射することで、室温から数百度の低温で高品質な薄膜を合成する方法を研究しています。このアプローチにより、従来の加熱加工では困難な材料の製造が可能になります。
主な研究対象は、酸化物系、窒化物系、炭化物系など様々な無機薄膜です。シリコン酸化膜、シリコンカーバイド、酸窒化ケイ素といった電子デバイス向け材料から、強磁性と強誘電性を同時に持つマルチフェロイック膜まで、幅広い機能性薄膜の開発に取り組んでいます。イオンビーム照射により、膜中の元素組成や結晶構造を精密に制御できることを見出しており、磁気記録媒体など次世代デバイス応用を念頭に置いた材料設計を進めています。
これらの研究を通じて、低温・低エネルギープロセスによる新しい薄膜製造法の確立と、電界制御可能な高性能磁気デバイス向け材料の創出を目指しています。
※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
外部リンク
関連研究室(8 件)
- 物理学・天文学Eiji Saitoh 研究室東京大学論文 100 件·共通: 薄膜, 磁性, 固体物理, 凝縮系物理 +9
- 材料科学Naoya Shibata 研究室東京大学論文 101 件·共通: 磁性, 固体物理, 凝縮系物理, 有機化学 +9
- 物理学・天文学Akira Hirose 研究室東京大学論文 164 件·共通: 薄膜, 磁性, 固体物理, 凝縮系物理 +7
- 物理学・天文学Satoshi Awaji 研究室Institute for Materials Research, Tohoku University論文 100 件·共通: 固体物理, 凝縮系物理, 化学工学, プロセス +9
- 材料科学M. Kawasaki 研究室東京大学論文 100 件·共通: 薄膜, 磁性, 固体物理, 凝縮系物理 +7
- 物理学・天文学Hiroshi Kageyama 研究室京都大学論文 100 件·共通: 磁性, 固体物理, 凝縮系物理, エネルギー +8
- 材料科学Norikazu Nishiyama 研究室大阪大学論文 100 件·共通: 磁性, 固体物理, 凝縮系物理, 有機化学 +8
- 医学Kazunori Koga 研究室九州大学論文 102 件·共通: 薄膜, 化学工学, プロセス, 有機化学 +8
研究成果（28 件）
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2025.e42442
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0281379
- DOI: https://doi.org/10.5188/sjsmerj.666
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0214908
- [2024] Low-energy O+ or SiO+ ion beam induced deposition of silicon oxide using hexamethyldisiloxaneDOI: https://doi.org/10.1016/j.nimb.2024.165276
- DOI: https://doi.org/10.5188/sjsmerj.657
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0172701
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.nima.2023.168707
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2023.e19002
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.nanoso.2023.101007
続きを表示（残り 18 件）閉じる
- DOI: https://doi.org/10.1109/intermagshortpapers58606.2023.10228599
- DOI: https://doi.org/10.5188/sjsmerj.33.1_2_12
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2023.e14643
- DOI: https://doi.org/10.5188/ijsmer.25.174
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0125209
- DOI: https://doi.org/10.5188/ijsmer.25.179
- DOI: https://doi.org/10.1109/iet-iceta56553.2022.9971567
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139508
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.07.016
- DOI: https://doi.org/10.5188/sjsmerj.32.1_2_15
- DOI: https://doi.org/10.5188/sjsmerj.32.1_2_22
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0072471
- DOI: https://doi.org/10.1371/journal.pone.0259216
- DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-021-90547-2
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.nimb.2021.11.022
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0077660
- DOI: https://doi.org/10.1371/journal.pone.0253870
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.jmmm.2021.168755
科研費（0 件）
まだデータがありません（KAKEN 取り込み後に表示）。
所属学会・役職（0 件）
まだデータがありません（学会データ連携後に表示）。