Masaya Toda 研究室
主宰者:Masaya Toda
東北大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
本研究室は、微細加工技術を活用してマイクロスケール・ナノスケールのセンサやデバイスを開発しています。特にダイヤモンドやシリコンなどの材料を用いた微小共振器(MEMS共振器)を設計・製造し、それらの周波数変化を測定することで、磁力・力・温度・ガス濃度などを高い感度で検出するセンサの実現を目指しています。これらのセンサは極めて微小な力や微弱な磁場まで検出でき、医療診断やエネルギー監視など多様な応用が期待されています。
さらに、ガスセンサの開発にも力を入れており、複数の異なるポリマーをシリコンの微細な隙間に配置することで、様々な揮発性物質を個別に認識できるセンサアレイの開発を進めています。ポリマーが特定のガス分子を吸収すると、内部応力が変化し、これが電気信号に変換される仕組みです。同時に、二酸化炭素を電気化学的に還元してメタンなどの有用物質に変換するマイクロチャネルデバイスや、水の蒸発を利用した小型電源デバイスなども開発しており、センサ技術と環境・エネルギー応用の融合を図っています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果(60 件)
- DOI: https://doi.org/10.1109/vlsitechnologyandcir65830.2026.11577412
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.146.173
- DOI: https://doi.org/10.3390/mi17020148
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0255014
- DOI: https://doi.org/10.23919/vlsitechnologyandcir65189.2025.11074913
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.145.115
- DOI: https://doi.org/10.1109/transducers61432.2025.11111164
- DOI: https://doi.org/10.1109/transducers61432.2025.11109436
- DOI: https://doi.org/10.1109/transducers61432.2025.11110427
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2025-02361726mtgabs
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- DOI: https://doi.org/10.1109/lsens.2025.3588897
- [2025] Ultrasensitive and Reliable Diamond MEMS Magnetic Force Sensor with 3D Imaging at Room TemperatureDOI: https://doi.org/10.1002/admt.202500470
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.jsamd.2025.100897
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.145.62
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0250902
- DOI: https://doi.org/10.1038/s41378-025-00899-2
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.145.13
- DOI: https://doi.org/10.1109/edtm61175.2025.11041343
- DOI: https://doi.org/10.1109/mems61431.2025.10917760
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.physb.2025.417056
- [2024] Preface to the Special Issue on “World State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines”DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.145.1
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.109236
- DOI: https://doi.org/10.1002/adfm.202420238
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2024.177952
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- DOI: https://doi.org/10.1002/admt.202400153
- [2024] Nano-diamond on Si Cantilever based Multi-dimensional Stress Sensing under Static Magnetic FieldDOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.144.89
- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ad2027
- [2023] Preface to the Special Issue on “World State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines”DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.144.1
- DOI: https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3337333
- DOI: https://doi.org/10.3390/bios13060573
- DOI: https://doi.org/10.1002/adfm.202300805
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.144.23
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.142.224
- DOI: https://doi.org/10.3390/mi13081287
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.enconman.2022.115923
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.enconman.2022.115760
- DOI: https://doi.org/10.1109/ssi56489.2022.9901411
- DOI: https://doi.org/10.1109/mems51670.2022.9699548
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- DOI: https://doi.org/10.1109/jsen.2021.3106352
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.jmr.2021.107045
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2021.112985
- DOI: https://doi.org/10.1109/transducers50396.2021.9495382
- DOI: https://doi.org/10.1109/jmems.2021.3076791
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- DOI: https://doi.org/10.1364/ol.424354
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202170026
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202000547
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.snb.2021.129524
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