Masaru Hori 研究室
主宰者：Masaru Hori
名古屋大学
AI 要約（直近 5 年の研究成果）
堀勝研究室は、プラズマと呼ばれるイオン化したガスの特性を活用した物質加工と応用に関する研究を展開しています。特に、半導体製造に不可欠なプラズマエッチング技術に注力しており、シリコンやシリコン窒化物などの材料を原子レベルの精度で除去・加工するプロセスの開発を進めています。放電プラズマを用いた材料表面の分析・改質手法も開発しており、化学的・物理的な反応メカニズムを計測と理論的解析を通じて明らかにしています。
一方、プラズマが生成する反応性化学種を医療や農業などの実践的分野に応用する研究も行われています。プラズマで処理した溶液が癌細胞の増殖抑制や細菌の除去に効果を示すことを報告しており、その作用機序を細胞レベルで調査しています。さらに、炭素系ナノ材料（カーボンナノウォール）の合成と機能化を通じて、電気化学センサーや生体足場材料としての応用を検討しています。
これらの研究は、プラズマの物理化学的性質を深く理解し、それを微細加工から医療技術まで多様な分野で有効活用することを目指しています。
※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果（100 件）
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- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0282789
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164180
- DOI: https://doi.org/10.26577/phst20251216
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.surfin.2025.106194
- DOI: https://doi.org/10.1007/s41614-025-00184-9
- DOI: https://doi.org/10.1116/5.0239755
- DOI: https://doi.org/10.1002/smtd.202501744
- DOI: https://doi.org/10.3390/bioengineering12101073
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- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0227576
- DOI: https://doi.org/10.17660/actahortic.2024.1404.125
- [2024] Radical, ion, and photon’s effects on defect generation at SiO2/Si interface during plasma etchingDOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160764
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0211090
- DOI: https://doi.org/10.1116/6.0003579
- DOI: https://doi.org/10.1116/6.0003432
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140322
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113180
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3166
- DOI: https://doi.org/10.1380/vss.67.77
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.159585
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.freeradbiomed.2024.02.001
- DOI: https://doi.org/10.1615/plasmamed.v14.i1.50
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0184779
- DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-024-78620-y
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.diamond.2024.111687
- DOI: https://doi.org/10.3390/coatings14101339
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- DOI: https://doi.org/10.1016/j.eti.2023.103496
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsaelm.3c01258
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- DOI: https://doi.org/10.1016/j.sbsr.2023.100614
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0173553
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad0c46
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad0b5d
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158876
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acfd34
- DOI: https://doi.org/10.7567/ssdm.2023.ps-11-19
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2023-01201498mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1116/6.0002822
- DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202300036
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsami.3c04705
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157981
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.arres.2023.100074
- [2023] Plasma-generated nitric oxide radical (NO•) promotes the proliferation of fibroblast cells in liquidDOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acd9b6
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acd4ca
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0138931
- DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2023.2215914
- DOI: https://doi.org/10.17576/jsm-2023-5202-21
- DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202200193
- DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2023.2201390
- DOI: https://doi.org/10.3390/nano13010063
- DOI: https://doi.org/10.3390/coatings12121938
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsmeasuresciau.2c00057
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.msea.2022.144428
- DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-022-24949-1
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsami.2c15951
- DOI: https://doi.org/10.1080/1536383x.2022.2146672
- DOI: https://doi.org/10.1007/s41614-022-00084-2
- DOI: https://doi.org/10.1116/6.0002044
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2022-0218870mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2022.2157272
- DOI: https://doi.org/10.7567/ssdm.2022.g-10-06
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac9319
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac895e
- DOI: https://doi.org/10.1007/s41614-022-00075-3
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac5210
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0082175
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsomega.2c01615
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- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ac6360
- DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202100209
- DOI: https://doi.org/10.1116/6.0001660
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0075530
- [2022] Nitrogen Atom Density Measurements in NAGDIS-T Using Vacuum Ultraviolet Absorption SpectroscopyDOI: https://doi.org/10.1585/pfr.17.1201004
- [2022] Tetrachloroaurate (III)-induced oxidation increases non-thermal plasma-induced oxidative stressDOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2022.2026348
- DOI: https://doi.org/10.1039/d2cp00289b
- DOI: https://doi.org/10.2139/ssrn.4180201
- [2021] Synergistic Effects on Hyperthermic Cancer Therapy Using Plasma-activated Acetated Ringer’s SolutionDOI: https://doi.org/10.3191/thermalmed.37.141
- DOI: https://doi.org/10.1109/trpms.2021.3135118
- [2021] On the Etching Mechanism of Highly Hydrogenated SiN Films by CF4/D2 Plasma: Comparison with CF4/H2DOI: https://doi.org/10.3390/coatings11121535
- DOI: https://doi.org/10.1021/acs.langmuir.1c02036
- [2021] (Invited) Controlled Synthesis of Functional Carbon Nanomaterials By Gas-Liquid Interface PlasmaDOI: https://doi.org/10.1149/ma2021-0216680mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-021-98020-w
- DOI: https://doi.org/10.1109/tps.2021.3102639
- DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202100078
- [2021] Plasma‐activated Ringer's lactate solution inhibits the cellular respiratory system in HeLa cellsDOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202100056
- DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac12bf
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