T. KITAZUME 研究室
主宰者：T. KITAZUME
北海道大学
AI 要約（直近 5 年の研究成果）
この研究室では、光学的な測定手法を用いて微細な周期構造の寸法精度を評価する技術に取り組んでいます。具体的には、レーザーを対象とする格子状の測定基準に照射し、発生する回折光の角度情報を検出することで、格子の周期がどの程度ばらついているかを測定する方法を開発しています。このアプローチにより、製造過程で生じる微小な寸法誤差を正確に定量化することが可能になります。
測定技術の精度向上が重要な課題となっており、従来の手法では検出できない微細な周期を持つ格子への対応や、角度検出の感度限界を克服することに注力しています。レーザーの入射角度を工夫したり、検出装置の感度を高めたりすることで、より短い周期の格子や、より高い分解能での測定を実現させることを目指しています。これらの技術的改善により、光学計測の応用範囲を拡大し、精密加工や産業応用における品質管理に貢献できる測定システムの実現を進めています。
※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果（5 件）
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