Isaku Kanno 研究室

主宰者：Isaku Kanno
神戸大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

本研究室では、機能性酸化物薄膜と微小電気機械システム（MEMS）の開発を中心に研究を展開しています。主な対象は、圧電体や強誘電体などの電気的・機械的特性を持つ材料です。これらの材料の結晶構造と電気的性質の関係を明らかにし、実用的なデバイスの実現につなげることを目指しています。 研究手法としては、薄膜作製にはスパッタリング法や熱処理プロセスを用い、材料特性の評価には放射光を用いたX線分析、電子顕微鏡観察、電気特性測定などの多角的なアプローチを採用しています。特に、シリコン基板上への薄膜形成や、微細な電極構造の加工・評価に高度な技術を活用しています。 これらの技術基盤を活かし、圧電材料を用いたエネルギーハーベスター（振動や曲げ変形から電気を生み出すデバイス）、高感度なセンサー、可変形ミラーなど、実用的なMEMSデバイスの設計・製作・評価を行っています。また、材料組成の最適化により、広い温度範囲での安定性や高い変換効率を備えたデバイス開発を進めており、ウェアラブル機器や環境計測など、実社会への応用を視野に入れた研究展開を行っています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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