Masaharu Shiratani 研究室

主宰者：Masaharu Shiratani
九州大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

白谷研究室では、低温プラズマを用いた半導体プロセスと材料開発、ならびにプラズマ農業応用に関する研究を展開しています。半導体プロセスの観点では、プラズマを利用したドライエッチング技術や薄膜成膜プロセスの開発に取り組んでいます。特に、電荷を持たないラジカルを用いたエッチング手法により、半導体材料にダメージを与えないプロセス実現を目指しています。また、炭素系薄膜やスズドープ酸化インジウムなどの機能性薄膜の成膜条件を制御し、膜の応力低減や高い電子移動度の達成など、材料特性の向上に向けた研究を行っています。 プラズマを含む複数の気体条件を変化させることで、膜の組成や物性を精密に制御する手法開発が重要な取り組みとなっています。半導体以外の応用として、プラズマ触媒を用いた二酸化炭素のメタン化やシリカ膜成膜プロセスの光学分光とこれと機械学習を組み合わせた制御法の研究も進めています。 一方、農業分野ではプラズマ処理が種子の発芽促進や植物の成長に与える影響を調査しています。低温プラズマ処理により、植物細胞内のカルシウムイオンや過酸化水素の動態が変わること、また植物に対して反応性の高い酸素原子や窒素を含む化学種が重要な役割を果たすことを報告しています。麦類、野菜、薬用植物など多様な作物を対象に、プラズマ処理による収量向上や機能性物質蓄積のメカニズム解明を進めており、化学肥料に頼らない持続可能な農業技術への応用を目指しています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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