Tsutomu Uenohara 研究室

主宰者：Tsutomu Uenohara
大阪大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

本研究室は、光と物質の相互作用を活用した精密計測・加工技術の開発に取り組んでいます。特に光の自転と公転の性質（スピン軌道相互作用）を利用した表面計測、および深層学習と光学的な手法を組み合わせた欠陥検出システムの構築が主要な研究テーマです。例えば、光が物質界面で生じる微小な横方向ずれ現象を精密に観測することで、ナノメートル～数十ナノメートルスケールの表面の粗さや薄膜厚さを非接触で測定する技術を開発しています。 加えて、回折限界を超えた微細な加工・観察を実現する技術も開発しています。特に、誘電体微粒子を用いた光ビーム（フォトニックナノジェット）によるレーザー加工や、高精細画像処理と深層学習を組み合わせたゴーストイメージング法による欠陥検査システムです。これらの手法では、従来の光学計測では達成困難であった高い空間分解能を実現し、8K解像度での欠陥検出も可能にしています。 また、機械学習の予測精度と信頼性向上に関する研究も並行して進めています。深層学習による推定値の不確実性を定量的に評価することで、計測結果の信頼性を向上させ、実際の産業応用に適した計測システムの構築を目指しています。半導体製造や精密機械加工など、極めて高い精度が要求される分野への応用が期待されます。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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