Miyuki Uomoto 研究室
主宰者:Miyuki Uomoto
東北大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
Miyuki Uomoto研究室は、原子拡散接合と呼ばれるウエハ接合技術を中心に研究を展開しています。この技術は、二つの平坦な基板の表面に金属、酸化物、窒化物などの薄膜を蒸着した後、室温で接触させることで、原子レベルの拡散現象を利用して強固に接合する方法です。従来の接合方法と異なり、高温加熱や複雑な化学処理を必要とせず、透光性ガラス基板を含む様々な材料の接合が可能という利点があります。
研究室では、接合界面における結晶格子の再配列、原子間の相互拡散、表面エネルギーの変化など、接合メカニズムの基礎的な理解に取り組んでいます。特に、異なる金属膜の組み合わせや、薄膜の結晶方位、表面粗さなどの条件が接合性能に与える影響を詳細に調査しています。また、環境中の水分やガスが接合強度に及ぼす影響についても評価を行っています。
さらに、これらの基礎研究の成果を応用として、赤外レーザー増幅用のイッテルビウムドープイットリウムアルミニウムガーネット(Yb:YAG)薄棒増幅器の開発に活かしています。原子拡散接合により熱抵抗を大幅に低減することで、熱歪みを抑制し、増幅効率とビーム品質の向上を実現しています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果(36 件)
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- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/adb6b1
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- DOI: https://doi.org/10.1109/cleo/europe-eqec65582.2025.11110844
- DOI: https://doi.org/10.1364/assl.2025.jw2a.28
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d64053.2024.10774151
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d64053.2024.10774118
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d64053.2024.10774121
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d64053.2024.10774148
- [2024] Optimization of Ag Thin Film Thickness with a Capping Layer for Ag-Ag Surface Activated BondingDOI: https://doi.org/10.23919/icep61562.2024.10535599
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- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d64053.2024.10774147
- DOI: https://doi.org/10.1149/11203.0147ecst
- DOI: https://doi.org/10.1149/11203.0173ecst
- DOI: https://doi.org/10.1149/11203.0191ecst
- DOI: https://doi.org/10.1364/assl.2023.jm4a.17
- DOI: https://doi.org/10.5104/jiep.jiep-d-23-00072
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2023-02331604mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2023-02331613mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2023-02331612mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2023-02331602mtgabs
- [2023] Suppression of Surface Roughening of Ag Films by Capping Layer for Ag/Ag Surface Activated BondingDOI: https://doi.org/10.1109/icsj59341.2023.10339608
- DOI: https://doi.org/10.1149/11203.0199ecst
- DOI: https://doi.org/10.1364/cleopr.2022.p_cth1_07
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac5760
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- DOI: https://doi.org/10.1109/cleo-pr62338.2022.10432174
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- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d53950.2021.9598432
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d53950.2021.9598448
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d53950.2021.9598421
- DOI: https://doi.org/10.1109/ltb-3d53950.2021.9598433
- DOI: https://doi.org/10.5104/jiep.jiep-d-21-00070
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