Yasunari Sohda 研究室

本研究室は、走査型電子顕微鏡（SEM）という微細な観察装置の性能を高める研究に取り組んでいます。SEMは、極めて細い電子ビームを試料表面に照射して、その反応を検出することで高い倍率の像を得る装置です。研究室では、この電子ビームのサイズがどの程度なのか、また検出器がどのような特性を持つのかを正確に評価する手法の開発を進めています。 具体的には、ビーム径を測定するため、ケイ素をエッチングした標準試料や金属球を用いた評価方法を提案しています。また、従来の常圧観察だけでなく、低真空環境でも試料を観察できるようにする新しい検出器の開発と評価も行っており、その検出器がどの方向からの電子信号をどれだけ効率よく捉えるかを調べています。これらの研究を通じて、SEMの画像品質や測定精度を向上させ、より正確で信頼性の高い微細構造観察を実現することを目指しています。