S. Aoki 研究室
主宰者:S. Aoki
筑波大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
本研究室は、非常に小さい物質や微細な構造を光で測定する技術の開発に取り組んでいます。従来の光学的な測定方法では 10 ナノメートル程度が限界とされてきましたが、特殊な光(硬 X 線や軟 X 線)を利用した散乱測定法(スキャッテロメトリー)により、この限界を超えた高い空間解像度での観察を目指しています。
測定対象は、周期的な構造ばかりでなく、孤立した粒子やパターンなど様々な形態に拡張されています。特に、油滴や吸収性フィルムなど、光を吸収する物質を含むシステムに対しても、厳密な電磁波計算手法や深層学習を組み合わせることで、その内部構造や特性値の評価を行っています。例えば、リン光体を含む油滴の測定から、含有量と発光強度の関係を分析したり、樹脂パターンや色素分子の光学特性をシミュレーションと実験で検証したりしています。これらの研究を通じて、微細加工や材料評価の精度向上に貢献する実用的な測定手法の構築を進めています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果(8 件)
- DOI: https://doi.org/10.1117/1.oe.63.11.111804
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0169230
- DOI: https://doi.org/10.1109/cleo-pr62338.2022.10432424
- DOI: https://doi.org/10.1364/dh.2022.w5a.20
- DOI: https://doi.org/10.1364/cleopr.2022.cfp6j_04
- DOI: https://doi.org/10.1364/ao.430599
- DOI: https://doi.org/10.1364/cosi.2021.cth4e.5
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