Takahiko Yanagitani 研究室
主宰者：Takahiko Yanagitani
早稲田大学
AI 要約（直近 5 年の研究成果）
本研究室では、音波を用いた様々な物質計測・加工・変換に関する研究を展開しています。特に、ギガヘルツ領域の超音波パルス・エコー法を独自に開発し、薄膜材料の機械的性質である品質係数や音響速度の温度特性を非破壊で評価する手法の確立に注力しています。この測定技術は圧電素子、金属膜、非晶質膜など多様な薄膜材料に適用できます。
圧電薄膜材料の機能向上に向けた研究も活発に行われています。特にスカンジウムを含むアルミニウムナイトライド(ScAlN)やZnO薄膜に対して、偏極を反転させた多層構造の設計・成膜を進めています。これらの構造により、高周波フィルタや電圧変換素子などの次世代無線通信デバイスの性能向上を目指しています。同時に、マイクロ加工技術では、プラズマフリーの気相触媒エッチング法を用いて石英ガラスなどの硬い材料に深い微細構造を損傷なく形成する新たな手法を開発しています。
これらの研究成果により、ナノスケール領域から数センチメートル規模まで、様々な長さスケールの材料・デバイス特性を正確に把握し、制御する技術基盤の構築が進められています。
※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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