Ko-hei Sano 研究室

主宰者：Ko-hei Sano
早稲田大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

本研究室では、ガラスや水晶といった透明で硬い結晶材料に対して、従来の微細加工法では実現できなかった深くて垂直な構造を作製する技術の開発に取り組んでいます。研究の主な課題は、これらの材料が化学的に非常に安定で加工が難しいという点にあります。一般的なプラズマを用いた加工法では、材料の種類に応じて異なる性質（異方性）が邪魔になったり、イオン衝撃で表面が傷ついたりするという問題がありました。 そこで本研究室では、フッ化水素ガスと感光性樹脂を組み合わせた新しい加工法を開発しました。この手法では、感光性樹脂が触媒となってガスとの化学反応を促進し、材料を選択的に溶かします。プラズマを使わないため表面へのダメージが少なく、深さや傾き角など従来法の制約を大幅に緩和できます。さらに計算化学や機械学習を活用して設計や加工条件を最適化する研究も進めており、光学デバイスやセンサー、通信部品など実用的なガラス・水晶デバイスの開発につなげています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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