Toshiyuki Horiuchi 研究室
主宰者:Toshiyuki Horiuchi
東京電機大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
本研究室は、光学素子を用いた新しいパターン形成技術の開発に取り組んでいます。具体的には、曲面や立体物の表面にマイクロパターンを転写する投影露光法を研究しており、放物面鏡を組み合わせた光学系や円錐鏡を用いた独自の方法を提案しています。また、レーザー光が拡散板を通過する際に生じるスペックル光という乱数的な光の性質を利用して、複雑な形状の物体上に簡便かつ低コストでランダムパターンを形成する手法も開発しています。
これらの露光法を実現するにあたり、研究室は光線追跡計算により光学系の収差や歪みを詳細に解析し、その影響を補正するための手法を確立しています。例えば、曲面への投影時に生じる像の歪みを計算で予測し、露光用の原版パターンを事前に修正することで、目標とするパターンを正確に転写する工夫を行っています。さらに、光ファイバーを用いたマトリックス露光や紫外レーザーによるナノドット形成など、多様な光応用技術に関する研究も推進しており、光を活用した微細加工技術全般の発展に貢献しています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果(18 件)
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- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejfms.146.12
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.146.20
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2025.09.023
- DOI: https://doi.org/10.2494/photopolymer.37.423
- [2024] Distortions of parabolic mirror optics for stereophonic lithography and prospects of compensationsDOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad2915
- DOI: https://doi.org/10.2494/photopolymer.37.15
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejfms.145.12
- DOI: https://doi.org/10.2494/photopolymer.37.431
- DOI: https://doi.org/10.1007/s13300-023-01438-w
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- DOI: https://doi.org/10.2494/photopolymer.36.403
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acbbd7
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac5e4c
- DOI: https://doi.org/10.2494/photopolymer.34.35
- [2021] Investigations of Matrix-Exposure Lithography Using Stacked Linear Arrays of Squared Optical FibersDOI: https://doi.org/10.2494/photopolymer.34.27
- DOI: https://doi.org/10.1159/000519438
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