Shuji Tanaka 研究室
主宰者:Shuji Tanaka
東北大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
本研究室では、微小なスケールで発生する機械的な現象と電気的な特性を融合させた、微小電気機械システム(MEMS)に関する研究を展開しています。具体的には、音波を利用した信号処理デバイスや各種センサ、アクチュエータの開発に取り組んでおり、これらが5G通信やレーダー、超音波計測など様々な応用分野で求められています。
研究の中核をなすのは、圧電材料を用いた共振器やフィルタの設計・製造技術です。特に、リチウム系セラミックス結晶基板上に微細な電極構造を形成し、高周波・広帯域で動作するデバイスの実現を目指しています。温度特性の改善や機械的強度の向上、さらには複合材料構造による性能の最適化など、実用的な課題に対して、シミュレーション解析と精密な微細加工技術を組み合わせた取り組みが特徴です。また、赤血球の流動特性を顕微鏡で追跡する技術や、タッチセンサ・ジャイロスコープなど多機能なセンサの開発も進めており、医工学から通信機器まで、幅広い領域での応用を視野に入れた研究活動が行われています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果(100 件)
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- DOI: https://doi.org/10.1109/uffc-js60046.2024.10793508
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- [2023] Recent Developments in Low Temperature Wafer Level Metal Bonding for Heterogenous IntegrationDOI: https://doi.org/10.1149/11203.0247ecst
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114691
- DOI: https://doi.org/10.1109/jsen.2023.3314897
- DOI: https://doi.org/10.1109/ius51837.2023.10306999
- DOI: https://doi.org/10.1109/ius51837.2023.10307531
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- DOI: https://doi.org/10.1109/isaf53668.2023.10265429
- DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.143.164
- DOI: https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3281854
- DOI: https://doi.org/10.1109/eftf/ifcs57587.2023.10272229
- DOI: https://doi.org/10.1109/eftf/ifcs57587.2023.10272041
- DOI: https://doi.org/10.1109/inertial56358.2023.10103987
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- DOI: https://doi.org/10.3390/s23062937
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb954
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb363
- DOI: https://doi.org/10.1109/mems49605.2023.10052378
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- DOI: https://doi.org/10.2139/ssrn.4369587
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- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac4eaa
- DOI: https://doi.org/10.1109/inertial53425.2022.9787717
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- DOI: https://doi.org/10.1109/mems51670.2022.9699522
- DOI: https://doi.org/10.1109/mems51670.2022.9699754
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- DOI: https://doi.org/10.1109/mems51670.2022.9699644
- DOI: https://doi.org/10.1109/mems51670.2022.9699555
- DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6439/aca101
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- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0087505
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