Masaru Hori 研究室

主宰者：Masaru Hori
名古屋大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

Masaru Hori研究室は、プラズマと呼ばれるイオン化したガスを用いた材料加工および応用に関する研究を展開しています。半導体デバイスの製造では、プラズマを用いた微細加工技術が不可欠ですが、本研究室はこの加工プロセスの高速化と高精度化を目指しています。特に、低温プラズマを活用することで、従来の加工技術では困難だった複雑な3次元構造の処理や微細なパターン形成を実現する研究に取り組んでいます。 材料表面でのプラズマと物質の相互作用メカニズムの解明も重要なテーマです。シリコンやシリコン酸化膜、金属化合物などの表面で生じる化学反応をその場計測技術で監視し、欠陥の生成・回復過程を詳しく調べています。また、炭素系ナノ材料（炭素ナノウォール）をプラズマプロセスで精密に成長・加工し、燃料電池などのエネルギー応用デバイスへの活用も進めています。さらに、大気圧プラズマを処理した液体ががん細胞に与える影響を顕微鏡観察で追跡するなど、プラズマの生医学への応用研究も展開しており、従来の工学的アプローチに加えて生命科学分野への展開も検討しています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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