Shotaro Kadoya 研究室

主宰者：Shotaro Kadoya
東京大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

Shotaro Kadoya研究室は、光学的な手法を用いた微小領域の計測・加工・操作を中心に研究を展開しています。主な研究領域は、顕微鏡の分解能を超えた微細構造の観察を実現する超解像技術、光ファイバーやマイクロスフィアなどの微小部品の直径や寸法を高精度で測定する技術、そして光トラップを応用した微粒子の三次元的な位置制御と配置です。これらの研究を通じて、従来の計測機器では困難だった微細な物体の評価と処理を可能にすることを目指しています。 加工技術の面では、水ジェット誘導レーザーを用いた半導体ウェハーの切断方法の開発に取り組んでいます。この方法により、従来の加工法で問題となっていた結晶欠陥の生成を抑制し、デバイスの信頼性向上を実現します。また、光学的・非破壊的な手法により、加工中の工具と被加工物の間に存在する潤滑液の膜厚分布を測定する技術も開発し、機械加工メカニズムの理解を深めています。 これらの研究は、マイクロスケール～ナノスケールにおける物体の精密計測、加工、操作という三つの側面から、次世代の微細加工・検査技術の基盤を構築するものです。光の波動性と相互作用を活用した革新的なアプローチにより、産業応用に向けた実用的な技術開発を実現しています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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