Kazumasa Okamoto 研究室
主宰者:Kazumasa Okamoto
大阪大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
岡本研究室は、微細加工用の感光性材料(レジスト材料)の開発を主要なテーマとしています。特に、電子ビームや極紫外線などの高エネルギー放射線を用いた次世代の半導体微細加工プロセスに対応する新規材料の設計と合成に取り組んでいます。無機有機ハイブリッド材料や含ヨウ素ポリマー、ポリアセタールなど、様々な化学構造を持つ材料を合成し、その感光特性(感度や解像度)を評価することで、より高性能なレジスト材料の開発を目指しています。
これらの材料開発では、化学的に増幅される仕組みを持つレジストの動作メカニズムを理解することも重要な課題です。電子パルスやガンマ線照射などを用いた実験と量子化学計算を組み合わせて、放射線照射によって生成される活性種(ラジカルカチオンなど)の反応ダイナミクスを詳しく調べています。さらに、半導体素子を宇宙環境で使用するための放射線耐性向上にも関心を持ち、ペロブスカイト太陽電池における放射線ダメージのメカニズム解明も行っています。加えて、量子ドットの精密配置や光学特性に優れた高屈折率ポリマーなど、光学デバイス用材料の開発も並行して進めており、多角的なアプローチで機能性高分子材料の研究を展開しています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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