Yuqing Jin 研究室

主宰者：Yuqing Jin
大阪大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

本研究室は、半導体製造における微細加工技術の要となるリソグラフィプロセスを対象とした研究を展開しています。特に、露光後の現像工程におけるレジスト膜の溶解メカニズムの解明に注力しており、石英結晶マイクロバランス法を中心とした測定装置を活用して、高い時間分解能でポリマー膜の溶解過程を追跡しています。現像液の化学的性質、ポリマーの分子量や表面特性、および基板の表面自由エネルギーなど、多くの物理化学パラメータがレジスト性能に与える影響を定量的に調査しており、次世代の現像液組成設計に向けた基礎知識を蓄積しています。 同時に、微細化に伴うパターン欠陥の増加という課題に対し、走査電子顕微鏡画像の機械学習分析に取り組んでいます。ハフ変換などの画像処理技術や決定木・サポートベクターマシンといった機械学習手法を用いることで、レジストパターンの自動評価やパターン欠陥の詳細な分析を実現しています。また、電子ビームリソグラフィのシミュレーション結果と実験パターンを比較することで、露光から現像までのプロセス全体にわたるレジスト性能の予測モデル構築を進めています。これらの多角的なアプローチにより、より高精度な微細加工を実現するための材料・プロセス設計を目指しています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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