Kunihiro Kamataki 研究室
主宰者：Kunihiro Kamataki
九州大学
AI 要約（直近 5 年の研究成果）
本研究室は、低温プラズマ技術を用いた材料プロセスと応用に関する研究を行っています。半導体製造プロセスにおいて、プラズマを利用した薄膜の成長・堆積の基礎を追求し、炭素系薄膜や酸化物薄膜の性質制御に取り組んでいます。具体的には、原料ガスの選択やプラズマ放電条件の最適化により、膜の密度、応力、結晶構造などを調整し、半導体工業で必要とされる高性能な膜の製造を実現することを目指しています。
同時に、プラズマ触媒反応への応用も展開しており、二酸化炭素の変換・削減技術に注力しています。プラズマと触媒材料の相互作用を活用して、室温・低圧下でのメタン合成や一酸化炭素生成などの化学反応を効率的に進める方法を検討しています。また、光放出分光法や数値シミュレーションなどの解析手法を駆使して、反応メカニズムを解明し、最適な反応条件を導き出しています。
さらに、プラズマの生物応用にも取り組んでおり、種子処理やプラズマ活性化水による農業への応用、さらに環境汚染物質の分解など、プラズマの多様な利用可能性を探索しています。これらの研究を通じて、プラズマ技術が持つ幅広い産業応用と持続可能な社会実現への貢献を追求しています。
※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
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研究成果（78 件）
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- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0272318
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43577-025-00930-x
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.163603
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- DOI: https://doi.org/10.1016/j.diamond.2025.112468
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2025.132029
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- DOI: https://doi.org/10.1016/j.surfin.2025.106194
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0256430
- DOI: https://doi.org/10.1007/s41614-025-00184-9
- [2024] Response of lettuce seeds undergoing dormancy break and early senescence to plasma irradiationDOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ad3798
- [2024] Improving the efficiency of CO2 methanation using a combination of plasma and molecular sievesDOI: https://doi.org/10.1016/j.rsurfi.2024.100204
- DOI: https://doi.org/10.7791/jspmee.13.31
- DOI: https://doi.org/10.1149/ma2024-02201780mtgabs
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.diamond.2024.111654
- DOI: https://doi.org/10.1007/s11090-024-10500-9
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43580-024-00907-z
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad5aff
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0211090
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad53b0
- DOI: https://doi.org/10.1088/2053-1591/ad4f57
- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ad33ea
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0160228
- DOI: https://doi.org/10.4028/p-6v9abp
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2023.140176
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- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ace118
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acdad9
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107613
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107503
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acc66a
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43578-022-00886-7
- DOI: https://doi.org/10.1615/plasmamed.2023050454
- DOI: https://doi.org/10.1021/acs.cgd.2c00145
- DOI: https://doi.org/10.4028/p-6l16rl
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43580-022-00270-x
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43580-022-00234-1
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- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0097691
- DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-022-16641-1
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43580-022-00310-6
- DOI: https://doi.org/10.1557/s43580-022-00306-2
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac7626
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.cplett.2021.138369
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsaem.1c02774
- DOI: https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.1016.863
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.cplett.2021.138986
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.optmat.2021.111928
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138701
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