Yasuhiro Mizutani 研究室

主宰者：Yasuhiro Mizutani
大阪大学

AI 要約（直近 5 年の研究成果）

水谷研究室は、光の性質を活用した精密計測と微細加工に取り組んでいます。研究の中心は、従来の光学手法の限界を超える新しい測定・加工技術の開発です。具体的には、光の偏光状態の変化を利用した表面計測法、光の散乱現象を逆算して表面形状を測定する技術、および微小球を通した光ビームを用いた超微細な加工法などを扱っています。これらの研究により、ナノメートルスケールの表面粗さ測定から、サブマイクロメートル領域の加工精度実現を目指しています。 もう一つの主要な研究テーマは、機械学習を用いた高感度画像計測です。単一画素検出器と相関演算を組み合わせた「ゴーストイメージング」という手法に深層学習を適用し、弱い光でも高速・高精度に微細な欠陥を検出できるシステムを開発しています。さらに、機械学習の予測結果の信頼性を評価する不確実性解析も進めており、測定精度の向上と信頼性確保を両立させようとしています。 工業応用の観点では、半導体検査や工具摩耗測定、加工中のリアルタイム計測など、実際の製造現場における課題解決にも力を入れています。光学現象と計算処理を組み合わせることで、従来困難だった高精度・高速な現場計測を実現し、製造品質の向上に貢献することを目指しています。

※ AI（Claude）が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。

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