Masayoshi Naitō 研究室

本研究室では、プラズマ（電離した気体）内でイオンがどのような方向・速度で電極に衝突するのかを詳細に測定する研究を展開しています。プラズマの基礎現象や材料加工への応用を理解する上で、イオンの振る舞いを正確に把握することが重要な課題となっています。 測定手法としては、マイクロチャネルプレートと時間測定を組み合わせた装置を用いて、異なるエネルギーを持つイオンを識別しながら、各々の角度分布を同時に観測しています。複数の周波数を持つ電源で駆動される二重周波数プラズマなど、比較的複雑な条件下での実験も行っており、得られた複合的な信号データから数学的手法で個々の分布を分離・再構成する技術も開発しています。 これまでの観測から、イオン衝突時の角度分布は単純な形ではなく、狭い領域と広がった領域の複数成分で構成されていること、またこれらの成分がイオンのエネルギーや質量、プラズマ中での衝突過程に依存することが明らかになりつつあります。こうした知見は、プラズマを用いた半導体加工やエッチング技術の最適化に向けた基礎データとして活用されると考えられます。