Hiroshi Fujioka 研究室
主宰者:Hiroshi Fujioka
東京大学
AI 要約(直近 5 年の研究成果)
本研究室は、窒化物半導体(GaN、AlN、AlGaNなど)の成長、物性、デバイス応用に関する研究を行っています。特に、パルススパッタリング法という低温成長技術を用いて、高品質な窒化物半導体薄膜の製造に取り組んでいます。この手法により、不純物ドープ濃度を高めてもよい結晶性を保ちながら、電気伝導性に優れた膜を実現できることが特徴です。
材料面では、重ドープGaNやAlGaNの電気的・光学的性質の制御と応用に注力しています。例えば、異なるドーパント(Si、Ge、Sn、Mgなど)を用いて、低抵抗率や最適な光学的バンドギャップを有する膜を開発し、発光ダイオードやトランジスタの電極材料として活用しています。また、欠陥が格子振動(フォノン)や熱伝導率に与える影響を、計算科学的手法を含めて理解する研究も進めています。
デバイス応用では、AlN/AlGaN系の高電子移動度トランジスタ(HEMT)の開発が中心です。耐圧性と低オン抵抗のバランスを取るため、異なるAl組成や層構造を設計・評価しており、電力変換や高周波デバイスへの利用を目指しています。さらに、パルススパッタリングで成長させた高導電性GaN層を電極として用いることで、低接触抵抗を実現するなど、材料成長とデバイス設計の統合的な研究を展開しています。
※ AI(Claude)が、公開されている論文要旨から研究の問い・手法・主要な発見を事実情報として抽出・再構成して自動生成しています。誤りを含む可能性があるため、正確性は研究室公式情報でご確認ください。
外部リンク
関連研究室(8 件)
- 工学Masaharu Shiratani 研究室九州大学論文 102 件·共通: 薄膜, 半導体, 電子工学, 電気・電子 +8
- 工学Takeshi Ohshima 研究室Tohoku University Hospital論文 100 件·共通: 半導体, 電子工学, 電気・電子, 光学 +8
- 物理学・天文学Jun Suda 研究室Nagoya University Hospital論文 100 件·共通: 薄膜, 半導体, 電子工学, 電気・電子 +7
- 工学Toshiro Hiramoto 研究室東京大学論文 100 件·共通: 薄膜, 半導体, 電子工学, 電気・電子 +6
- 工学Takafumi Fukushima 研究室東北大学論文 116 件·共通: 薄膜, 半導体, 電子工学, 電気・電子 +5
- 物理学・天文学Yasuhiko Arakawa 研究室東京大学論文 100 件·共通: 半導体, 電子工学, 電気・電子, 光学 +6
- 社会科学Shinsuke Inagi 研究室東京工業大学論文 100 件·共通: 電極, 電気化学, 光学, 光学・プラズマ +7
- 工学Takahiro Kozawa 研究室大阪大学論文 100 件·共通: 薄膜, 半導体, 電子工学, 電気・電子 +5
研究成果(60 件)
- DOI: https://doi.org/10.7566/jpscp.45.011066
- [2025] Machine-learning potential for phonon transport in AlN with defects in multiple charge statesDOI: https://doi.org/10.1103/physrevmaterials.9.034601
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0249739
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssb.202500037
- DOI: https://doi.org/10.1117/12.3038934
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2024.113264
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssr.202400142
- DOI: https://doi.org/10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631317
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202300848
- DOI: https://doi.org/10.1117/12.3004962
続きを表示(残り 50 件)閉じる
- DOI: https://doi.org/10.1117/12.3000696
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202300806
- [2024] Energization‐Time Dependence of Electrical Properties of Anodized n‐GaN Grown on Si SubstratesDOI: https://doi.org/10.1002/pssb.202300585
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202300990
- [2024] Nitride SemiconductorsDOI: https://doi.org/10.1002/pssb.202400527
- [2024] Nitride SemiconductorsDOI: https://doi.org/10.1002/pssr.202400312
- [2024] Nitride SemiconductorsDOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202400802
- DOI: https://doi.org/10.1109/irmmw-thz60956.2024.10697667
- [2023] Structural characterization of epitaxial ScAlN films grown on GaN by low-temperature sputteringDOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ad120b
- DOI: https://doi.org/10.1093/neuonc/noad179.0354
- DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6463/ad015e
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0144418
- DOI: https://doi.org/10.7759/cureus.36785
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0118126
- DOI: https://doi.org/10.1021/acsaelm.2c01288
- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/acb2b1
- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ad16ae
- DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad09f1
- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ac4fcf
- DOI: https://doi.org/10.1002/admi.202201244
- DOI: https://doi.org/10.1002/admi.202270174
- DOI: https://doi.org/10.1093/noajnl/vdac167.038
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0123299
- DOI: https://doi.org/10.3390/cryst12040499
- DOI: https://doi.org/10.1021/acs.cgd.1c01287
- DOI: https://doi.org/10.36463/idw.2021.0213
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202170046
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2021.126269
- DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.202100074
- DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/abf669
- DOI: https://doi.org/10.1117/12.2592144
- DOI: https://doi.org/10.1063/5.0040500
- [2021] Vertical p-type GaN Schottky barrier diodes with nearly ideal thermionic emission characteristicsDOI: https://doi.org/10.1063/5.0036093
科研費(0 件)
まだデータがありません(KAKEN 取り込み後に表示)。
所属学会・役職(0 件)
まだデータがありません(学会データ連携後に表示)。